电子束与离子束 译文集PDF格式文档图书下载

能提供微米级和埃级探针的缩小系统的电子光学设计 1

点阴极枪的色差系数 22

修正钟形场模型的静电四极透镜的三级象差 25

静电对称四极透镜偶的球面象差 43

电子束固化装置用的四极透镜系统 53

对电子敏感的聚合物膜的曝光特性 58

聚合物膜上拍照的电子显微镜图象的干扰色观测 64

利用电子束曝光光致抗蚀剂来制造微型图案 73

使用飞点型控制系统的电子束微型加工与微型记录 93

利用环氧树脂模铸电子束设备的直流高压电源 105

研究离子在气体中加工和穿透距离时使用差动式抽气系统的离子束装置 116

用氩离子轰击法把铝和锑注入硅内 128

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