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微电子制造科学原理与工程技术
（美）Stephen A. Campbell著；曾莹等译（明尼苏达大学）2003 年出版613 页ISBN：7505383132本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
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微电子制造科学原理与工程技术
（美）坎贝尔（Campbell，S.A.）著（明尼苏达大学电子与计算机工程系）2003 年出版604 页ISBN：7505386263本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
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智能技术在船舶减摇鳍系统中的应用
金鸿章等编著2003 年出版194 页ISBN：7118030090《智能技术在船舶减摇鳍系统中的应用》叙述了智能技术在船舶减摇鳍中的应用，其内容基本是作者长期在智能控制和船舶减摇鳍理论研究和工程实践中的总结。《智能技术在船舶减摇鳍系统中的应用》可分为两部分。...
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