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洁净室的检测与运行管理
涂光备,涂有编著2008 年出版277 页ISBN:9787112101863本书内容分为上下两篇,上篇(第1~6章)主要讨论洁净室的检测,下篇(第7~11章)主要介绍洁净室的运行与管理。
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