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高等院校通用教材 微传感器设计、制造与应用
刘广玉编著2008 年出版218 页ISBN:9787811241990本书主要对基于压阻效应、机械谐振效应、光电效应、电子隧道效应和原子力效应的多种微传感器和智能微传感器的物理机理、材料、设计等进行深入系统的讨论。...
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