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周海宪编著2010 年出版510 页ISBN：9787118063653
本书首先介绍集成电路的短暂历史和微加工的发展。然后对MEMS和微光学以及两种技术组合后的发展潜力进行回顾和评述。
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（美）Tai-Ran Hsu主编；姚军译2006 年出版238 页ISBN：730211952X
本书内容包括微机电系统封装的基本技术、材料、工艺及应用。
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范伟政，乔大勇编著2011 年出版207 页ISBN：9787561230305
本书共分为六章，分别介绍MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。
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张文栋，熊继军编著2006 年出版310 页ISBN：7111192664
本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况等。
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（美）刘昶著2011 年出版576 页ISBN：7111358275
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姜岩峰编著2006 年出版194 页ISBN：7502581588
本书介绍了微电子机械系统的基础知识、主要工艺和器件结构等。
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李树平，刘遂庆编2016 年出版383 页ISBN：7112192588
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（美）MohamedGad-el-Hak编；张海霞等译2009 年出版467 页ISBN：9787111267331
本书主要介绍了MEMS技术应用方面的知识，包括惯性传感器等方面的知识。
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赵松年，张奇鹏主编1990 年出版359 页ISBN：756080764X
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文杰书院编著2008 年出版282 页ISBN：7111237668
本书包括系统安装基础知识，安装操作系统等方面的知识。
