微纳米加工技术及其应用

崔铮著2009 年出版466 页ISBN：9787040263589

本书集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各...

微纳米加工技术及其应用 第3版

崔铮著2013 年出版544 页ISBN：9787040369748

本书集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种...

微纳米加工技术及其应用

崔铮著2005 年出版295 页ISBN：7040168804

本书旨在综合介绍近年来微纳米加工技术的进展。全书共分为5章以微纳米加工的关键技术为主线，即微纳米光刻技术，其中包括光学曝光加工，电子束曝光加工，聚焦离子束加工，微纳米图形转移技术，微纳米图形复制技术，......

微纳米技术及其应用

李德胜等编著2005 年出版285 页ISBN：7030152883

本书介绍了微纳米的基本理论，并对MEMS相关工艺作了详尽的介绍。

微/纳米力学测试技术及其应用

张泰华编著2005 年出版180 页ISBN：7111151690

本书介绍了微/纳米力学测试技术中最常用的压入和划入及其典型应用等。

微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列 RF MEMS器件设计、加工和应用

朱健编著2012 年出版272 页ISBN：7118085013

高性能SI3N4基微纳米复合陶瓷刀具及其切削加工

吕志杰著2016 年出版173 页ISBN：7030499202

微纳米加工仿真技术

梁迎春，陈家轩，郭永博著2013 年出版312 页ISBN：9787560345468

本书介绍作者在国家项目资金支持下，获得的受国内外关注的纳米级加工中分子仿真方面系列创新成果，包括概述、分子动力学仿真技术的原理与方法、纳米加工表面形成机理及分子动力学仿真技术、微纳米结构力学性能...

微/纳米力学测试技术 仪器化压入的测量、分析、应用及其标准化

张泰华著2013 年出版372 页ISBN：9787030387523

本书分五编共22章。第一编分2章，介绍材料力学性能及其表征、常规力学测试技术和仪器化压入测试技术的特点。第二编分5章，介绍仪器化压入的测量原理、测试仪器、检验校准、测量操作、影响因素。第三编分7章，介...

纳米技术手册 纳米结构、微纳米材料及其制备 第1册 第3版影印版

（美）Bharat Bhushan主编2013 年出版356 页ISBN：7560339474