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氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
赵祥敏,赵文海著2015 年出版132 页ISBN:9787502469177本书以实例的形式,介绍了用磁控溅射法制备氧化锌(ZnO)薄膜、氮化铝(AlN)薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章,主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用,ZnO和AlN薄膜的常用制备方...
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