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半导体薄膜技术与物理 第2版
叶志镇,吕建国,吕斌,张银珠编著2014 年出版237 页ISBN:9787308139106“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材,浙江大学材料科学与技术丛书。本科生教学用书,介绍半导体薄膜的真空技术;物理气相沉积技术(PVD);化学气相沉积技术(CVD);分子束外延技术;液相外延技术等内容。...
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“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材,浙江大学材料科学与技术丛书。本科生教学用书,介绍半导体薄膜的真空技术;物理气相沉积技术(PVD);化学气相沉积技术(CVD);分子束外延技术;液相外延技术等内容。...