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真空科学技术丛书 真空装置
谈治信,徐玉江编著2016 年出版369 页ISBN:9787122250650本书分为7章,分别论述了真空装置概述、真空装置容器、真空装置抽气系统、真空泵、真空装置阀门、真空装置测量与自动化、真空装置常用制造工艺的理论与实践;特别是离子束刻蚀机作为典型的真空装置所涉及的技...
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本书分为7章,分别论述了真空装置概述、真空装置容器、真空装置抽气系统、真空泵、真空装置阀门、真空装置测量与自动化、真空装置常用制造工艺的理论与实践;特别是离子束刻蚀机作为典型的真空装置所涉及的技...