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集成电路制造技术 原理与工艺
王蔚,田丽,任明远编著2010 年出版396 页ISBN:9787121117510本书主要分5个单元。第1单元介绍硅衬底,主要介绍硅单晶的结构特点,单晶硅锭的拉制及硅片(包含体硅片和外延硅片)的制造工艺及相关理论。第2~5单元介绍硅芯片制造基本单项工艺(氧化与掺杂、薄膜制备、光刻、工艺.....
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