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微米纳米器件测试技术
张文栋等编著2012 年出版259 页ISBN:9787118078978本书章节独立,内容充实,共分六章,第一章简述微米纳米器件测试技术的发展、意义和研究现状,第二章介绍微米纳米结构的特征几何参量测量技术,第三章介绍微米纳米结构的动态特性测试技术,第四章介绍微米纳米力学量.....