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集成电路(IC)制程简论
田民波编著2009 年出版244 页ISBN:9787302209591本书以图文并茂的形式,简要介绍了集成电路制程。以特征线宽130nm以下为重点,涉及到集成电路制造工艺的各个方面,特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低K介质材料、S...
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本书以图文并茂的形式,简要介绍了集成电路制程。以特征线宽130nm以下为重点,涉及到集成电路制造工艺的各个方面,特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低K介质材料、S...