可控硅应用线路123例

上海海燕半导体器件厂技术应用部编1985 年出版229 页ISBN：15119·2470

化学清洗

《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版81 页ISBN：15034·1263

衬底制备

《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版101 页ISBN：15034·1257

硅材料制备

《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版357 页ISBN：15034·1254

扩散技术

《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版149 页ISBN：15034·1248

测试

《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版350 页ISBN：15034·1270

隔离技术

《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版85 页ISBN：15034·1252

制版技术

《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版101 页ISBN：15034·1264

光刻技术

《半导体器件制造技术丛书》编写组1972 年出版78 页ISBN：15034·1256

氧化技术

《半导体器件制造技术丛书》编写组1971 年出版52 页ISBN：15034·1240