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微电子制造科学原理与工程技术
(美)坎贝尔(Campbell,S.A.)著(明尼苏达大学电子与计算机工程系)2003 年出版604 页ISBN:7505386263本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
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中国电工技术学会电力电子学会第七次全国学会会议论文集
中国电工技术学会电力电子学会,四川省电工技术学会电力电子专委会,成都电力电子学会,三联科技公司编2000 年出版532 页ISBN: -
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