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相对于人们对涉及的非传统物理的理解,MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理,才能促进MEMS技术的提高,才有可能进行微机电系统的设计和制造,并让其在现有的和设想的各个领域广泛应用。本书是MEMS手册中...
本书是长篇小说。