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集成电路制造技术原理与工艺
王蔚,田丽,任明远编著;刘晓为主审2013 年出版356 页ISBN:9787121206801本书共分5个单元,第一单元,主要介绍单晶硅衬底结构特点,体硅和外延硅片的制造方法;第二单元~第五单元,主要介绍硅芯片制造基本单项工艺(氧化、掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试)的原理、方法、设备......
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