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激光等离子体极紫外光刻光源
窦银萍,宋晓伟,陶海岩著2018 年出版112 页ISBN:9787118117936本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状,并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次,介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。重点介绍了激光参数及靶条...
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冰层厚度自动化检测技术
窦银科著2013 年出版204 页ISBN:9787121221484本书在总结目前各种实际冰层厚度检测方法优缺点的基础上,初步研究了淡水冰的电学性质,详细叙述了作者设计的几种冰层厚度自动检测技术的基本原理、研究过程,以及利用这些原理实现对冰层厚度定点、连续自动测量...