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微传感器 MEMS与智能器件
(英)朱利安 W.加德纳,(美)维贾伊 K.瓦拉丹,(美)奥萨马 O.阿瓦德卡里姆著2007 年出版477 页ISBN:9787502625573本书主要内容为电子材料与加工技术、标准微电子工艺、微传感器等。
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