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RF MEMS应用指南
(美)Vijay K. Varadan,(美)K. J. Vinoy,(美)K. A. Jose著;赵海松,邹江波译2005 年出版300 页ISBN:7121017504本书主要介绍了MEMS及射频MEMS、MEMS材质及制作技术、RF MEMS交换及微继电器、MEMS感应器和电容器、微机械射频虑波器、微机械移相器、微机械传输线及组成、微机械天线、RF MEMS元件的集成及封装等内容。本...
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